硕士学位
自然及工程技术科学硕士（Diplom）
Diplom的原意是一种奖励取得优秀成绩或通过某项考试的证书，以后逐渐演变成一种学位，这种学位最早颁发于1899年，首先适用于通过工业大学毕业考试的学生，以后逐步扩展到其他类型的高校，1939年正式成为法定的学位。现在，自然科学、工程科学、社会科学和经济科学等专业的学生，在满足了学习条例对所学专业规定的条件、完成硕士毕业论文、通过一系列的口试和笔试后，即可毕业并被授予自然及工程技术科学硕士学位，所学的专业方向通常被附加在学位之后，如工学硕士（Diplom-lngenieur）、数学硕士（Dipl-Mathe-matiker）、心理学硕士（Diplom-Psychologie）等等。
此外，有些学位由国家考试委员会统一颁发，如体育教学硕士（Diplom-Sportlehrer）和图书馆学硕士（Diplom-Bibliothckar）等，而在有些专业里也可由私人机构颁发，如美容硕士（Diplom-Kosmetikerin）等。学位获得者具备了职业专门知识，有资格独立开业或者在工业界和经济界的多种专业领域里工作。
人文及社会科学硕士（Magister）
Magister这个词来自拉丁文，原意是“教师”，它曾经作为所有系科的最高学位和全权高校教师的职业称呼，与博士头衔毫无差别，到了17世纪时，它只作为教师的职业称呼，而到了19世纪中叶，这个词在德国消失。1957年以来，Magister作为人文及社会科学硕士学位重新被引入当时的德意志联邦共和国，并一直沿用至今。人文科学和部分社会科学专业的学生，只要通过人文及社会科学硕士考试，即可被授予人文及社会科学硕士学位。与自然及工程技术科学硕士不同，所学的专业并不附加在学位之后，而是一律通称人文及社会科学硕士（Magister Artium）。
博士学位（Doktor）
博士学位是德国最高一级的学位，“特许任教资格”（Habilitation）是一种专为博士而设的资格考试，通过该考试的博士拥有在高校任教的资格，具备了成为教授的基本条件。
与我国的高校体制不同，德国的大学没有“博士点”的概念，所有的大学教授都可以是博士生导师，因此，从理论上讲，凡是获得第一级学位的学生都可以申请在德国大学的有关专业中攻读博士学位（Promotion），通常不需要进行资格考试，但有一个前提条件，申请人必须成绩优秀且必须先找一个博士导师，在德国称为“Doktorvater”或“Doktormutter”，他或者向申请攻读博士学位的学生建议一个论文题目，或者接受申请者建议的题目。